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千級(jí)微電子潔凈車間設(shè)計(jì)施工

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千級(jí)微電子潔凈車間設(shè)計(jì)施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事電子潔凈車間工程規(guī)劃,設(shè)計(jì),施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室、磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室(區(qū))進(jìn)行嚴(yán)格控制外,對(duì)溫濕度控制、光照(甚至光源要求)、微振動(dòng)等也有更嚴(yán)格的要求,以消除靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境在潔凈的環(huán)境中滿足電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求。

千級(jí)電子潔凈車間GB/T16292-1996(中國標(biāo)準(zhǔn))空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

GB/T16292-1996(中國標(biāo)準(zhǔn))空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)


粒徑、數(shù)值

潔凈度級(jí)別

塵埃最大允許數(shù)/立方米

微生物做大允許數(shù)

≥0.5um

≥5.0um

游浮菌/立方米

沉降菌/皿

100級(jí)

3,500

0

5

1

1,000級(jí)

35,000

200

50

2

10,000級(jí)

350,000

2,000

100

3

100,000級(jí)

3,500,000

20,000

500

10

300,000級(jí)

10,500,000

60,000

 

15

 

 

電子潔凈車間標(biāo)準(zhǔn) 電子潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)
   

二.千級(jí)電子潔凈車間設(shè)計(jì)要求

1:設(shè)計(jì)規(guī)劃要點(diǎn):對(duì)人車路徑、管道系統(tǒng)、排氣管道、原材料搬運(yùn)和操作過程進(jìn)行審查分析,盡量縮短動(dòng)線,避免交叉,防止交叉污染。操作人員、化學(xué)品、材料等移動(dòng)線路不得集中;潔凈車間周圍應(yīng)設(shè)置緩沖區(qū);制造設(shè)備的進(jìn)出不得對(duì)操作產(chǎn)生重大影響。  
2: 潔凈車間不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過濾器選擇及布置要點(diǎn):對(duì)于 30萬級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度十萬級(jí)級(jí)和萬級(jí)空氣凈化處理應(yīng)采用初級(jí)、中級(jí)、高效過濾器三級(jí)過濾器;應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風(fēng)量選擇中效或高效空氣過濾器;凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段應(yīng)設(shè)置中效空氣過濾器;凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端應(yīng)設(shè)置高效或次高效空氣過濾器。  
3、部分空氣凈化系統(tǒng)的空氣,如果處理后仍不能避免交叉污染,則不能回收利用:固體材料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、涂層、灌裝等工序;有機(jī)溶劑精制的原料藥精制干燥工藝;放射性  
藥品生產(chǎn)區(qū);病原體操作區(qū);工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)和揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)過程;用于固體口服制劑顆粒、成品和干燥設(shè)備的凈化空氣。  
3.1.布局緊湊合理,滿足實(shí)驗(yàn)室操作和空氣潔凈度水平的要求,力求科學(xué)性和科學(xué)性  
考慮到實(shí)驗(yàn)室的要求、開發(fā)和運(yùn)營成本,經(jīng)濟(jì)原則是最好的。  
3.2.潔凈車間入口設(shè)置空氣風(fēng)淋室,可有效清除人體帶來的灰塵,減少潔凈車間的灰塵量。同時(shí),空氣風(fēng)淋室還起到氣門的作用,防止不干凈的空氣從門進(jìn)入潔凈區(qū)。  
3.3.潔凈車間需要向室內(nèi)提供一定比例的新鮮空氣,凈化過濾后進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行補(bǔ)償排氣,確保正壓和工作人員需要。  
3.4.風(fēng)量調(diào)節(jié)閥用于控制不同需要潔凈水平的區(qū)域,并調(diào)整壓力梯度,以確保氣流與潔凈區(qū)域一起流向污染區(qū)域,潔凈車間不同水平之間的壓差為≥5pa,潔凈車間與室外之間的壓差為≥10pa。  
3.5.紫處燈滅菌裝置設(shè)在潔凈車間。  
3.6.傳動(dòng)窗采用全不銹鋼材料,機(jī)械聯(lián)鎖控制,內(nèi)帶滅菌裝置。
3.7.觀察窗為封閉式潔凈窗,門為氣密潔凈門。  

電子潔凈車間設(shè)計(jì) 電子潔凈車間設(shè)計(jì)
   

三.千級(jí)電子潔凈車間布局設(shè)計(jì)要求

電子潔凈車間布局要求  
根據(jù)《無菌醫(yī)療器具生產(chǎn)管理規(guī)范》附錄B中國無菌電子 電器生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級(jí)設(shè)置指南設(shè)置潔凈度等級(jí)。潔凈室(區(qū))設(shè)計(jì)應(yīng)注意以下幾個(gè)方面:  
1.按照生產(chǎn)工藝流程安排。流程盡量短,減少交叉往復(fù),人流和物流方向合理。必須配備人員凈化室(儲(chǔ)物間、衛(wèi)生間、潔凈工作服室、緩沖室)、材料凈化室(帶外包間、緩沖室、雙層傳動(dòng)窗)。除了配備產(chǎn)品工藝要求的室外,還應(yīng)配備衛(wèi)生潔具室、洗衣間、臨時(shí)儲(chǔ)藏室、工位電器潔凈室等。每個(gè)房間都是相互獨(dú)立的,潔凈車間的面積要在保證基本要求的前提下。  
2.根據(jù)空氣潔凈度等級(jí),可以根據(jù)人流流方向,由低到高;車間由內(nèi)向外, 由高到低。  
3.同一潔凈室(區(qū))或相鄰潔凈室(區(qū))之間不存在交叉污染 1)生產(chǎn)工藝和原材料不會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生相互影響; 2)不同層次的潔凈室(區(qū))之間有氣閘室或防污染措施,物料通過 雙層傳輸窗口傳輸。 4.空氣凈化應(yīng)符合要求GB 50457-2008《醫(yī)藥行業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》第九章 的要求。潔凈室的新鮮空氣量取以下最大值:1)補(bǔ)償室內(nèi)排氣量,保持室內(nèi)正壓所需的新鮮空氣量;2)室內(nèi)無新鮮空氣不得小于40立方米/h。  
5、潔凈室人均面積應(yīng)不少于4個(gè)㎡(除了走廊、設(shè)備和其他物品),以確保一個(gè)安全的操作區(qū)域。  
6.如果屬于體外診斷試劑,則應(yīng)符合《體外診斷試劑生產(chǎn)實(shí)施細(xì)則(試行)》的 要求。其中,陰性、陽性血清、質(zhì)?;蜓褐破返奶幚碜鳂I(yè)應(yīng)在至少10000級(jí)環(huán)境下進(jìn)行,應(yīng)與相鄰區(qū)域保持相對(duì)負(fù)壓,并滿足保護(hù)要求。  
7.應(yīng)注明回風(fēng)、送風(fēng)和水管的方向。

電子潔凈車間設(shè)計(jì) 電子潔凈車間設(shè)計(jì)
   

四.千級(jí)電子潔凈車間空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

潔凈車間潔凈空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)根據(jù)潔凈車間面積、凈化等級(jí)及潔凈車間需求確定。 
潔凈空調(diào)系統(tǒng)工作流程:室外新風(fēng)經(jīng)過初效過濾器過濾后,與潔凈車間回風(fēng)混合,再經(jīng)冷卻、除濕、加熱、加濕后通過送風(fēng)機(jī)將處理過的空氣經(jīng)中效和高效過濾送入潔凈車間,完成空氣熱濕處理和過濾循環(huán),使?jié)崈糗囬g保持設(shè)計(jì)的溫濕度和潔凈度。組合式空調(diào)機(jī)組一般包括新回風(fēng)混合段初效、加熱、表面冷卻、加濕、風(fēng)機(jī)、消聲、中效過濾、出風(fēng)等功能段??諝饨?jīng)組合空調(diào)機(jī)組處理后送入室內(nèi),室內(nèi)氣流組織采用頂送下側(cè)回/排的送、回、排風(fēng)方式。潔凈車間主要是通過潔凈空調(diào)的循環(huán)來過濾空氣中的塵埃,實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣中粒子的控制,達(dá)到潔凈度等級(jí),因此需要足夠的風(fēng)量循環(huán)來保證室內(nèi)潔凈度。根據(jù)《潔凈車間設(shè)計(jì)規(guī)范》和《醫(yī)藥工業(yè)空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定D級(jí)潔凈區(qū)的換氣次數(shù)設(shè)計(jì)為不小于15次/h,對(duì)于局部爆炸危險(xiǎn)區(qū)換氣次數(shù)為25次/h。

電子潔凈車間設(shè)計(jì) 電子潔凈車間設(shè)計(jì)
   

五.千級(jí)電子潔凈車間設(shè)計(jì)規(guī)劃

電子無塵室廠房設(shè)計(jì)規(guī)劃要點(diǎn)  
目前,我國對(duì)電子產(chǎn)品的空氣潔凈度水平或生產(chǎn)環(huán)境控制要求沒有統(tǒng)一的規(guī)定,一般按照《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》執(zhí)行(GB50073-2001)  
以及電子產(chǎn)品廠家確定凈化車間潔凈度等級(jí)和溫濕度要求的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。
1.氣流方式
有層流式(垂直、水平)、亂流式、混流式、隧道式,各有各的特長,考慮使用目的而決定。  
2.潔凈度  
凈化車間的潔凈度是根據(jù)氧氣產(chǎn)品要求的精度來確定的。潔凈度水平是根據(jù)氣流模式、通風(fēng)次數(shù)、室內(nèi)壓力等進(jìn)行充分檢查的結(jié)果。  
3.設(shè)計(jì)層面  
設(shè)計(jì)表面的決定是否需要考慮其操作和滿足潔凈度?需求的程度。除塵作業(yè)需要隔離。此外,還必須包括人員和物體的出入口、通道、實(shí)用性和維護(hù)。  
4.構(gòu)造、材料  
室內(nèi)表面結(jié)構(gòu)?它可能是光滑的,不會(huì)造成氣流紊亂和灰塵積聚。選擇灰塵少、不易支付顆粒且易于潔凈的材料。此外,根據(jù)不同的操作內(nèi)容,有時(shí)應(yīng)使用耐藥、耐濕、耐火的材料。  
5.附屬裝置  
形成無塵室的周邊裝置包括控制除塵和保持壓力的空風(fēng)淋室(人們進(jìn)入房間時(shí)使用)、傳送箱(物品進(jìn)出)、正壓風(fēng)門(調(diào)節(jié)室內(nèi)壓力)、儲(chǔ)存物品和無塵衣物的潔凈?櫥柜,無塵衣柜…等等。所有相關(guān)功能必須充分理解。  
6.管理人員和物品  
作業(yè)人員,從外面帶來的物品是最大的塵源。包括無塵衣服或化妝品等問題,操作人員必須具備與無塵室相關(guān)的基本知識(shí)。  
7.實(shí)用性  
8.安全對(duì)策和應(yīng)急設(shè)備  
在潔凈室工程的設(shè)計(jì)過程中,所需的潔凈度、溫度和濕度應(yīng)根據(jù)工程是新建工程還是舊廠房改造工程,并結(jié)合具體的生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)工藝確定。根據(jù)項(xiàng)目的具體情況,同時(shí)考慮廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素確定采用哪種凈化方案,從而設(shè)計(jì)出一個(gè)能夠滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)實(shí)用的方案。

電子潔凈車間設(shè)計(jì) 電子潔凈車間設(shè)計(jì)
   

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